【適応ﾏｽｸｻｲｽﾞ】　152mm（6in）

【適応ﾏｽｸ厚】　6.4mm（0.25in）

【材質】　SUS304

【特徴】　SUS304の使用によりｹｰｽからｱｳﾄｶﾞｽが発生しませんので、ｹｰｽ内部のﾏｽｸに対する悪影響は回避出来ます。また、ﾏｽｸ出荷用だけで無く、工場内でのﾏｽｸ保管用ｹｰｽとしてもご使用出来ます。

●150mm角ﾚﾁｸﾙ用搬送・保管容器

●SEMI規格　E100に準拠

●ﾚﾁｸﾙ保持部に低発塵材料を使用

●内部目視可能

●帯電性・耐摩耗性・剛性に優れ、ﾍﾟﾘｸﾙへのﾀﾞﾒｰｼﾞが少ない低ｱｳﾄｶﾞｽ材料を採用

●ｵﾌﾟｼｮﾝ：RF-ID,ﾊﾞｰｺｰﾄﾞ

フォトマスク工程で使用する装置用ケミカルフィルターを製作しています。

レジストに影響がある有機性ガスの除去が特徴です。

（低沸点ガス及び、酸、アルカリの三層構造フィルターもございます。）